中国长城:我国首台半导体激光隐形晶圆切割机研制成功星空体育下载

2024-11-10

  (文/图图)中国长城官方消息显示,近日,中国长城旗下郑州轨交院与河南通用,填补国内空白,在关键性能参数上处于国际领先水平。我国半导体激光隐形晶圆切割技术取得实质性重大突破,相关装备依赖进口的局面即将打破。

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  此外,中国长城副总裁、郑州轨交院院长刘振宇表示,与传统的切割方式相比,激光切割属于非接触式加工,可以避免对晶体硅表面造成损伤,并且具有加工精度高、加工效率高等特点,可以大幅提升芯片生产制造的质量、效率、效益。

  据悉,该装备通过采用特殊材料、特殊结构设计、特殊运动平台,可以实现加工平台在高速运动时保持高稳定性、高精度,运动速度可达500mm/S,效率远高于国外设备。星空体育官网在光学方面,根据单晶硅的光谱特性,结合工业激光的应用水平,采用了合适的波长、总功率、脉宽和重频的激光器,最终实现了隐形切割。

  郑州轨交院成立于2017年,几年来,该院围绕自主安全工业控制器、高端装备制造和新一代信息技术突破开展科研创新、技术攻关。2019年12月2日,中国长城公告称,其全资子公司北京圣非凡电子系统技术开发有限公司拟用9800.96万元收购关联公司郑州轨交院100%股权。(校对/小北)