杭州银湖激光科技有限公司申请氧化镓的双激光切割方法专利实现高效切割氧化镓

2024-09-26

  金融界2024年9月25日消息,国家知识产权局信息显示,星空体育登录杭州银湖激光科技有限公司申请一项名为“一种氧化镓的双激光切割方法”的专利,公开号 CN 118682314 A,申请日期为2024年7月。

  专利摘要显示,星空体育登录本申请公开了一种氧化镓的双激光切割方法,其属于激光切割领域。包括:使用能够形成平均输出功率大于30W、波长为1020nm‑1090nm和脉冲宽度小于10ns第一激光光路的第一激光器对待切割工件进行激光切割;使用能够形成波长为310nm‑380nm、脉冲宽度小于50ps和脉冲的峰值功率大于200kW重复频率大于100kHz第二激光光路的第二激光器对待切割工件进行激光切割;经第二激光器加工后的待切割工件进行扩膜处理得到晶片体;其中,所述第二激光器对经所述第一激光器切割后的待切割工件进行切割。星空体育登录